MKS 射频电源 EDGE30R40A 400KHz 2500W RF Generator 是一款性能稳定可靠性高的射频电源，广泛应用于半导体制程中，整体采用了紧凑设计，小巧紧凑，能够有效的降低客户的使用成本。MKS EDGE Series 射频电源是专为薄膜加工设备设计的可靠的固态电源，是制造现代计算机和电子设备所需的集成电路或芯片的半导体制程的重要部件，具有优秀的成膜能力，能够快速成膜，对射频输出进行精密控制，提高产线效率。

MKS 射频电源 EDGE30R40A 400KHz 2500W 参数规格

设备品牌：MKS                                                                                                                                                    

设备型号：EDGE30R40A                                                                                                            

AC 电源输入：3 phase~，200~208V，50/60Hz，15A

RF 射频输出：2500W，400KHz

通信接口：AUX，CEX，RS-232C，ETHERNET，GIGABIT

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MIN水流流量1Gal/min，MAX水流压力 80PSI

设备重量：13kg，29lbs