COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W
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COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W

CLX-2750COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 11:17:33
377
属性：
供货周期:现货；货号:FP1341R1；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；型号:CLX-2750；M/N:FP1341R1；P/N:27-316462-00；频率:350KHz；输出功率:2500W；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
FP1341R1
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
CLX-2750
M/N
FP1341R1
P/N
27-316462-00
频率
350KHz
输出功率
2500W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W 射频发生器应用范围包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程。

详细介绍

COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W RF GENERATOR 射频发生器是一款优秀、可靠的低频射频电源，CLX系列的设计是为了满足RF驱动等离子体系统在半导体加工中的性能需求，应用范围包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程。

CLX系列低频射频电源的功率范围从600W到10KW，固定频率从20KHz到2MHz，频率调谐能力高达10带宽。该系列设备的固态设计具有高可靠性，拥有成本低。


COMDEL 低频射频电源 CLX SERIES 特点

1.低频射频电源，频率为20KHz~2MHz

2.稳定、可靠、低功率，功率范围为600W~10KW

3.真空系统

4.较高频率调谐能力，高达10


COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W规格

AC输入：208V~，3phase，50/60Hz，15A

输出频率：350KHz，24VDC 输出电流

射频输出：2500W，354 VRMS，50 OHM

水冷进水需求：Min 水流 6L/min，Max 水压414 kPa（60 psi），Max 水温25℃

通讯接口：Analog I/O





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