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AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
面议AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
面议AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW
面议AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW
面议MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
面议AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
面议KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
面议COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W RF GENERATOR 射频发生器是一款优秀、可靠的低频射频电源,CLX系列的设计是为了满足RF驱动等离子体系统在半导体加工中的性能需求,应用范围包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD,以及工业系统中的感应和介质加热过程。
CLX系列低频射频电源的功率范围从600W到10KW,固定频率从20KHz到2MHz,频率调谐能力高达10带宽。该系列设备的固态设计具有高可靠性,拥有成本低。
COMDEL 低频射频电源 CLX SERIES 特点
1.低频射频电源,频率为20KHz~2MHz
2.稳定、可靠、低功率,功率范围为600W~10KW
3.真空系统
4.较高频率调谐能力,高达10
COMDEL 低频射频电源 CLX2750 350KHz 2500W规格
AC输入:208V~,3phase,50/60Hz,15A
输出频率:350KHz,24VDC 输出电流
射频输出:2500W,354 VRMS,50 OHM
水冷进水需求:Min 水流 6L/min,Max 水压414 kPa(60 psi),Max 水温25℃
通讯接口:Analog I/O