COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W
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COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W
COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W

CX-600SCOMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 11:16:38
379
属性：
供货周期:现货；货号:FP3135R1；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；型号:CX-600S；P/N:FP3135R1；频率:13.56MHz；输出功率:600W；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
FP3135R1
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
CX-600S
P/N
FP3135R1
频率
13.56MHz
输出功率
600W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W RF GENERATOR 射频发生器是一款具有高可靠性高频射频电源，应用范围包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程。

详细介绍

COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W RF GENERATOR 是经过长期验证的、可靠的高性能、高频率的射频发生器。COMDEL CX Series 射频电源的输出功率范围在600W~2500W，射频输出频率为2MHz~30MHz，频率调谐能力高达10带宽。该系列设备的固态设计具有高可靠性，拥有成本低。COMDEL CX Series的设计是为了满足RF驱动等离子体系统在半导体加工中的性能需求，应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD，以及工业系统中的感应和介质加热过程，以及太阳能光伏应用。


COMDEL 高频射频电源 CX Series 特点

1.高频射频电源，频率为2MHz~30MHz

2.久经测试的可靠的真空等离子设备

3.较高的射频调谐能力


COMDEL 高频射频电源 CX600S 13.56MHz 600W 规格

1.AC输入：230V

2.射频输出：600W，175 VRMS，50 OHM

3.水冷进水需求：MAX 水温 25℃，MAX 水流 1.9L/min，MAX 水压 60 psi(240kPa)

4.通讯接口：J1 REMOTE I/O ; J2 RS-232c



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