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AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
面议AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
面议AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW
面议AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW
面议MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
面议AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
面议KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
面议COMDEL 射频电源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 是经过长期验证的、可靠的高性能、高频率的射频发生器。COMDEL CX Series 射频电源的输出功率范围在600W~2500W,射频输出频率为2MHz~30MHz,频率调谐能力高达10带宽。该系列设备的固态设计具有高可靠性,拥有成本低。COMDEL CX Series的设计是为了满足RF驱动等离子体系统在半导体加工中的性能需求,应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF溅射、CVD和PVD,以及工业系统中的感应和介质加热过程,以及太阳能光伏应用。
COMDEL 高频射频电源 CX Series 特点
1.高频射频电源,频率为2MHz~30MHz
2.久经测试的可靠的真空等离子设备
3.较高的射频调谐能力
COMDEL 射频电源 CX2500S 13.56MHz 2500W RF GENERATOR 规格
1.AC输入:208VAC,3 phase,50-60Hz
2.射频输出:2500W,13.56MHz
3.水冷进水需求:MAX 水温 35℃,MIN 水流 10 GPM/min
4.通讯接口:J1 REMOTE I/O ; J2 RS-232c