ULVAC射频电源 RFS-1305A 13.56MHz 500W
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ULVAC射频电源 RFS-1305A 13.56MHz 500W

ULVAC RFS-1305AULVAC射频电源 RFS-1305A 13.56MHz 500W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 11:00:35
276
属性：
供货周期:现货；货号:06170372；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；型号:RFS-1305A；L/N:06170372；频率:13.56MHz；输出功率:500W；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
06170372
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
RFS-1305A
L/N
06170372
频率
13.56MHz
输出功率
500W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

ULVAC射频电源 RFS-1305A 13.56MHz 500W 射频发生器通过采用高效率的射频放大器，使设备整体结构紧凑，重量轻，自带自动匹配控制器功能，功率控制和匹配系统控制可与主机单独进行。

详细介绍

ULVAC射频电源 RFS-1305A 13.56MHz 500W RF Generator 射频发生器通过采用高效率的射频放大器，使设备整体结构紧凑，重量轻，自带自动匹配控制器功能，功率控制和匹配系统控制可与主机单独进行。主要应用领域包括溅射和化学汽相淀积、等离子体刻蚀、射频离子源、中和剂等。


ULVAC射频电源 RFS Series 特点

采用高效放大器：通过具有良好的功率转换效率的射频电路结构，节约能源

高速自动匹配：用高速算法实现高速自动匹配

射频功率发生器内部配备了自动匹配功能：与发电机组本身匹配的系统控制是可能的，还能手动操作射频功率发生器和匹配箱，配合内部控制器操作

支持灵活的控制配置：可对外进行模拟和串行通信控制

高可靠性：设计中结合了多年的设备制造经验


ULVAC射频电源 RFS-1305A 13.56MHz 500W RF Generator 规格

AC 输入：AC200V~220V，1 phase，50/60Hz

RF 输出：500W，13.56MHz，50 Ohm

Max反射波功率：100W

控制精度：额定输出±2%以下

散热设计：风冷散热

尺寸大小：240 * 495 * 150 mm

设备重量：11kg



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