ULVAC 射频电源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 射频发生器通过采用高效率的射频放大器，使设备整体结构紧凑，重量轻，自带自动匹配控制器功能，功率控制和匹配系统控制可与主机单独进行。主要应用领域包括溅射和化学汽相淀积、等离子体刻蚀、射频离子源、中和剂等。

ULVAC射频电源 RFS Series 特点

功率范围：0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器：通过具有良好的功率转换效率的射频电路结构，节约能源

高速自动匹配：用高速算法实现高速自动匹配

射频功率发生器内部配备了自动匹配功能：与发电机组本身匹配的系统控制是可能的，还能手动操作射频功率发生器和匹配箱，配合内部控制器操作

支持灵活的控制配置：可对外进行模拟和串行通信控制

高可靠性：设计中结合了多年的设备制造经验

ULVAC 射频电源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 规格

AC 输入：AC200V~220V，3 phase，50/60Hz

输入功率/电流：≤8 kva / ≤30 A

RF 输出：5000W，13.56MHz，50 Ohm

Max反射波功率：500W

控制精度：额定输出±2%以下

散热设计：水冷散热

水冷进水需求：6L/min

尺寸大小：480 * 500 * 150 mm

设备重量：23kg