MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz
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MKS EDGE 210R40A-G02MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-23 11:35:12
756
属性:
供货周期:现货;货号:EDGE 210R40A-G02;应用领域:化工,电子,电气,综合;主要用途:RF GENERATOR;品牌:MKS;型号:EDGE?400KHz;M/N:EDGE?210R40A-G02;P/N:660-210103-200;频率:400KHz;设备状态:Refurbished;
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产品属性
供货周期
现货
货号
EDGE 210R40A-G02
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
MKS
型号
EDGE?400KHz
M/N
EDGE?210R40A-G02
P/N
660-210103-200
频率
400KHz
设备状态
Refurbished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz是经过长期验证的高性能射频发生器,能够提供持续稳定的射频输出,广泛应用在半导体制造中。

详细介绍

MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz RF Generator 是一款优秀的射频电源,输出稳定性能可靠,能够为优良的薄膜加工设备提供可靠的固态电源,是制造现代计算机和电子设备所需的集成电路或芯片的半导体制程中的重要部件。MKS EDGE系列射频电源具有优良的成膜能力,能够快速成膜,从而提高产线效率。EDGE系列射频电源严格的制造环节把控,使得该型射频电源在实际工作过程中能够实现对射频输出的精准控制。

MKS 高频射频电源 EDGE 210R40A-G02 400KHz 参数规格

品牌:MKS

设备型号:EDGE 400KHz

AC 电源输入:3 phase~,200~208V,90A,50/60Hz

RF 射频输出:400KHz

通讯接口:Interlock,ETHERNET,RS-232C,CEX,GIGABIT

设备散热:水冷散热

水冷进水需求:MIN水流速度 1.5Gal/min;MAX水流压力 80PSI

设备重量:47.6kg(105lbs)                                                                                                                                                                                    


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