MKS 射频电源 LVG3527A 27MHz 3500W
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MKS 射频电源 LVG3527A 27MHz 3500W
MKS 射频电源 LVG3527A 27MHz 3500W

MKS LVG3527AMKS 射频电源 LVG3527A 27MHz 3500W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-23 11:22:02
218
属性：
供货周期:现货；货号:LVG3527A-11BA-05；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；品牌:MKS；型号:LVG3527A；M/N:LVG3527A-11BA-05；P/N:660-072825-625；频率:27MHz；输出功率:3500W；设备状态:Refurbished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
LVG3527A-11BA-05
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
MKS
型号
LVG3527A
M/N
LVG3527A-11BA-05
P/N
660-072825-625
频率
27MHz
输出功率
3500W
设备状态
Refurbished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

MKS 射频电源 LVG3527A 27MHz 3500W RF Generator 是经过长期验证的稳定可靠的高性能射频电源，具有优秀的成膜能力，广泛应用于半导体制程的薄膜工艺中。

详细介绍

MKS 射频电源 LVG3527A 27MHz 3500W RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。MKS 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。MKS LVG系列射频电源能够能实现对射频的精准控制，具有优秀的成膜能力，在半导体薄膜工艺中具有广泛应用。

MKS 射频电源 LVG3527A 27MHz 3500W 参数规格

设备品牌：MKS

设备型号：LVG3527A

AC 电源输入：200~208V，3 phase~ /PE，50/60Hz，30AMP

RF 射频输出：27.12MHz，3500W

通信接口：Analog I/O，RS-232C，EtherNet，Reserved

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：2gal/min（7.5L/min），水温5℃~35℃，MAX水压 60PSI/414kPa

设备重量：32kg（70lbs）                                                                                                                            

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