MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W
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MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W

MKS RD5060ZMKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-06-03 12:00:12
527
属性：
供货周期:现货；货号:RD5060Z-01；应用领域:电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；品牌:MKS；型号:RD5060Z；P/N:RD5060Z-01；射频:60MHz；输出功率:2000W；设备状态:Refurbished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
RD5060Z-01
应用领域
电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
MKS
型号
RD5060Z
P/N
RD5060Z-01
射频
60MHz
输出功率
2000W
设备状态
Refurbished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是经过现场验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源。

详细介绍

MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 是经过现场验证的具有可靠性能和稳定输出能力的优秀射频发生器，在实机验证中体现出了优秀的工艺稳定性和输出控制能力。该型射频电源能够实现对射频输出的精准控制，广泛应用在半导体制程溅射、CVD、PECVD、蚀刻等工艺中，且具有优秀表现。RD5060Z射频电源具有优秀的成膜能力，在半导体薄膜工艺中，具有成膜速度快，效率高，质量好的优点，在一定程度上能够提升产线效率和成品良率，具有十分广泛的应用。

MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W RF Generator 参数规格

设备品牌：MKS

设备型号：RD5060Z

AC 电源输入：3 phase~ ，480V，15A

RF 射频输出：DUAL 2.0KW，60MHz

通讯接口：CEX In/Out，Profibus，EtherNet，Sync In/Out，Reserved，RS-232C

设备散热：水冷散热

设备重量：445kg，98lbs

 

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