ENI 高频射频电源 DOFBC2-083 27MHz RF Generator是经过长现场验证具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源，能够实现对射频输出的精准控制，被广泛运用于溅射、CVD、PECVD、蚀刻等半导体制程工艺中。ENI 系列射频电源具有优秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，运用于半导体制程薄膜工艺中能够提高成膜效率，一定程度上可以提高产线效率和产品良率。该型高频射频电源坚实耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。该型射频电源设备整体上采用紧凑设计，紧凑小巧，能够减少客户的使用成本。

ENI 高频射频电源 DOFBC2-083 27MHz RF Generator 参数规格

设备品牌：ENI                                                                      

设备型号：DOFBC2-083

AC 电源输入：3 phase~ /PE，208V，25A，50/60Hz

RF 射频输出：27MHz

通讯接口：Solenoid Control，Fiberoptic Interface

设备散热：水冷散热

设备重量：37.6kg，83.0lbs