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MKS 射频电源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
面议MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W
面议ASE 射频电源 APG-3000PRO RF Generator
面议ENI 高频射频电源 DOFBC2-083 27MHz
面议DAIHEN 射频电源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W
面议DAIHEN 射频电源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
面议AE 高频射频电源 VHF 2760 60MHz 2700W
面议ADTEC 射频电源 AXR-2000Ⅲ 13.56MHz 2000W
面议ADTEC 射频电源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 FGA-50B 40.68MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 FGA-65A 40.68MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 NX-FGA-30C 40.68MHz
面议ADTEC 射频网络匹配器 AMV-600-KM RF Match 是经过长期实机验证的射频匹配器,匹配效率高,速度快,能够高效地降低反射,减少射频损耗,提升能源效益,降低客户的使用成本。ADTEC AMV系列射频阻抗网络匹配器广泛应用在半导体制程中,反应灵敏,响应速度快,可以快速侦测反射功率并迅速调整设备内部的阻抗值降低功率反射,实现匹配,从而对等离子工艺进行高性能,高可靠性和精确控制。该款射频匹配器整体采用了紧凑设计,轻便灵活。
ADTEC 射频网络匹配器 AMV-600-KM RF Match 规格参数
设备品牌:ADTEC
设备型号:AMV-600-KM
AC 电源输入:~AC100V,50/60Hz,typ.20VA(Max:50VA)
RF 射频输入:600W(Max),13.56MHz(50Ω)
通讯接口:Remote,I/F
设备散热:风冷散热