DAIHEN 射频电源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是经过现场长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源，该系列射频电源能够对射频输出实施精准控制，被广泛的应用在溅射、CVD、PECVD、蚀刻等半导体制程中。RTGA 系列射频电源具有优良可靠的成膜能力，成膜速度快，运用于半导体制程薄膜工艺中，可以一定程度上提升产线效率和产品良率。该型射频电源整体采用了紧凑的外观设计，能够降低客户的使用成本。

DAIHEN 射频电源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W参数规格

设备品牌：DAIHEN

设备型号：RTGA-30A

AC 电源输入：3 phase~ ，200V，27A，50/60Hz

RF 射频输出：12.88MHz，3500W

通讯接口：DeviceNet，Debug，Analog I/F

设备散热：风冷+水冷散热

水冷进水需求：MAX Torque 30N·m

设备重量：48.5kg