DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH
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DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH

DAIHEN FMM-300A2DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-23 11:20:04
320
属性:
供货周期:现货;货号:2L39-000242-11;应用领域:化工,电子,电气,综合;主要用途:Matching Box 射频匹配网络;品牌:DAIHEN;型号:FMM-300A2;P/N:2L39-000242-11;频率:40.68MHz/400KHz;输出功率:7000W/30000W;设备状态:Refurbished;
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产品属性
供货周期
现货
货号
2L39-000242-11
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
Matching Box 射频匹配网络
品牌
DAIHEN
型号
FMM-300A2
P/N
2L39-000242-11
频率
40.68MHz/400KHz
输出功率
7000W/30000W
设备状态
Refurbished
关闭
江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH 是经过长期验证的匹配敏捷、输出稳定的高性能射频阻抗网络匹配器,广泛应用在CVD、PECVD、蚀刻等半导体制程中。

详细介绍

DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH 能够对等离子工艺经行高性能,高可靠性和精确控制。设备内部采用高度优化的设计布局,可实现优良工序间的可重复性工作。该款型号匹配器匹配效率高,速度快,能够高效地降低反射,减少射频损耗,提升能源效益,降低客户的使用成本。DAIHEN FMM系列射频阻抗网络匹配器响应速度快,控制精度高,能够对反射功率经行快速侦测,并通过调整内部阻抗值对反射功率加以控制,达到降低功率反射的目的。

DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH 参数规格

设备品牌:DAIHEN

设备型号:FMM-300A2

DC Input:24V,8.5A

RF输入频率:40.68MHz / 400KHz

输出功率:7000W / 30000W

通讯接口:DEBUG,DeviceNet,Pulse In/Out

设备散热:风冷散热

设备重量:42kg                                                                                                                                

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