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MKS 射频电源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
面议MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W
面议ASE 射频电源 APG-3000PRO RF Generator
面议ENI 高频射频电源 DOFBC2-083 27MHz
面议DAIHEN 射频电源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W
面议DAIHEN 射频电源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
面议AE 高频射频电源 VHF 2760 60MHz 2700W
面议ADTEC 射频电源 AXR-2000Ⅲ 13.56MHz 2000W
面议ADTEC 射频电源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 FGA-50B 40.68MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 FGA-65A 40.68MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 NX-FGA-30C 40.68MHz
面议DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH 能够对等离子工艺经行高性能,高可靠性和精确控制。设备内部采用高度优化的设计布局,可实现优良工序间的可重复性工作。该款型号匹配器匹配效率高,速度快,能够高效地降低反射,减少射频损耗,提升能源效益,降低客户的使用成本。DAIHEN FMM系列射频阻抗网络匹配器响应速度快,控制精度高,能够对反射功率经行快速侦测,并通过调整内部阻抗值对反射功率加以控制,达到降低功率反射的目的。
DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-300A2 RF MATCH 参数规格
设备品牌:DAIHEN
设备型号:FMM-300A2
DC Input:24V,8.5A
RF输入频率:40.68MHz / 400KHz
输出功率:7000W / 30000W
通讯接口:DEBUG,DeviceNet,Pulse In/Out
设备散热:风冷散热
设备重量:42kg