ADTEC 射频电源 AXR-2000Ⅲ 13.56MHz 2000W RF Generator 是经过实机长期验证的性能优秀、稳定可靠的射频发生器。 该款射频电源具有优良的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半导体薄膜工艺中被广泛应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。该系列电源设备经过了严格的设计和可靠性测试，实现了高可靠性和耐久性，射频输出控制的精度高，能够实现精准控制，整个输出范围内的输出功率稳定，从而提高产线效率和产品良率，降低损耗和使用成本。

ADTEC 射频电源 AXR-2000Ⅲ 13.56MHz 2000W 参数规格

设备品牌：ADTEC

设别型号：AXR-2000Ⅲ

AC电源输入：3 phase~ ，AC200~220V，50/60Hz，4.1kVA

RF射频输出：2000W，13.56MHz

通讯接口：Remote Control，RS-232C，EXT-Input

设备散热：风冷散热