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MKS 射频电源 53-S30-64 63.87MHz 18KW
面议MKS 射频电源 RD5060Z 60MHz 2000W
面议ASE 射频电源 APG-3000PRO RF Generator
面议ENI 高频射频电源 DOFBC2-083 27MHz
面议DAIHEN 射频电源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W
面议DAIHEN 射频电源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W
面议AE 高频射频电源 VHF 2760 60MHz 2700W
面议ADTEC 射频电源 AXR-2000Ⅲ 13.56MHz 2000W
面议ADTEC 射频电源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 FGA-50B 40.68MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 FGA-65A 40.68MHz
面议DAIHEN 高频射频电源 NX-FGA-30C 40.68MHz
面议DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-200A1 RF Match 能够对等离子工艺经行高性能,高可靠性和精确控制。设备内部采用了高度优化的设计布局,可以实现优良工序间的可重复性工作。DAIHEN FMM系列射频阻抗网络匹配器匹配效率高,响应速度快,能够对反射功率进行快速侦测,实施精准控制,高效地降低功率反射,减少射频损耗,提升能源效益,降低客户的使用成本。设备提供40.68MHz和400KHz两个不同的匹配频率组合,具有优秀的兼容性。
DAIHEN 射频网络匹配器 FMM-200A1 RF Match 参数规格
设备品牌:DAIHEN
设备型号:FMM-200A1
DC 电源输入:24V,7A
RF 输入频率:40.68MHz / 400KHz
输出功率:6500W / 20000W
通讯接口:DeviceNet,Debug
设备散热:风冷散热
设备重量:37kg