DAIHEN 射频电源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W RF Generator 是经过现场长期验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频电源，能够实现对射频输出的精准控制，被广泛应用于溅射、CVD、PECVD等半导体制程工艺中。DAIHEN NX-HGA系列射频电源具有优秀的成膜能力，成膜效果好、速度快，运用于半导体制程薄膜工艺中能够提高成膜效率，一定程度上可以提高产线效率和产品良率。该型高频射频电源坚实耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。

DAIHEN 射频电源 NX-HGA-30B1 100MHz 3000W参数规格

设备品牌：DAIHEN

设备型号：NX-HGA-30B1

AC 电源输入：3 phase~ ，AC 180~242V，50/60Hz，24A

RF 射频输出：100MHz，3000W

通讯接口：Maintenance，Display，DeviceNet，DI/O I/F，Pulse Out

设备散热：风冷+水冷散热

水冷进水需求：MAX Torque 30N·m

设备重量：65kg