PLASMART(MKS) Path FinderMKS 射频网络匹配器 PLASMART Path Finder
MKS/美国 品牌
经销商厂商性质
扬州市所在地
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面议MKS 射频网络匹配器 PLASMART Path Finder 100MHz 5000W RF Match 是经过现场长期验证的具有优良的工艺稳定性和控制能力的高性能射频阻抗网络匹配器。MKS Path Finder 系列射频阻抗网络匹配器具有响应速度快，匹配精度高的优点，广泛的应用在半导体制程工艺中。该型射频阻抗网络匹配器能够实现对射频信号的精准控制，对射频反射功率进行高精度的侦测，并通过控制步进电机的转动来调节设备内部阻抗值，从而降低功率反射，实现快速匹配。
MKS 射频网络匹配器 PLASMART Path Finder 参数规格
设备品牌：MKS
设备型号：PLASMART(MKS) Path Finder
DC 电源输入：24Vdc，2A
RF 射频输入：100MHz
输出功率：5000W
通讯接口：A/D I/O，USER Connector
设备散热：风冷散热
