ASE 射频电源 APG-3000PRO RF Generator 是经过现场长期验证的具有优良可靠性和稳定输出能力的高性能射频电源，主要运用在半导体溅射、CVD、PECVD、蚀刻等制程中。ASE APG 系列射频电源具有优秀的工艺稳定性和射频控制能力，能够实现对射频输出的精准控制。APG 系列射频电源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半导体制程薄膜工艺中具有广泛应用，能够在一定程度上的提高产线效率和产品良率。该型射频电源整体采用了紧凑设计，小巧便捷，能够降低客户的使用成本。

ASE 射频电源 APG-3000PRO RF Generator  参数规格

设备品牌：ASE

设备型号：APG-3000PRO

AC 电源输入：3 phase~ ，AC200~220V，50/60Hz，5.3kVA

RF 射频输出：13.56MHz，3000W

通讯接口：Remote Control，RS-232C，EXT In/Out

设备散热：风冷+水冷

水冷进水流量：4.0L/min（1.05Gal/min）

水冷进水水压：MAX 0.5MPa

水冷进水水温：10℃~35℃

Fitting：NPT1/4（Female）

设备重量：24kg（52.8lbs）