MKS 射频电源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 是经过现场验证的具有可靠性能和稳定输出能力的优秀射频发生器，在实机验证中体现出了优秀的工艺稳定性和输出控制能力。该型射频电源能够实现对射频输出的精准控制，广泛应用在半导体制程溅射、CVD、PECVD、蚀刻等工艺中，且具有优秀表现。RD5060Z射频电源具有优秀的成膜能力，在半导体薄膜工艺中，具有成膜速度快，效率高，质量好的优点，在一定程度上能够提升产线效率和成品良率，具有十分广泛的应用。

MKS 射频电源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 参数规格

设备品牌：MKS                                                                                                      

设备型号：53-S30-64

AC 电源输入：3 phase~ ，380/400 VAC ±10%，16A，50/60Hz

RF 射频输出：63.87MHz，18KW Pulsed，540Watts，50Ω

通讯接口：Remote，RS-232C

设备散热：风冷散热