ENI 射频网络匹配器 MWD-55LD RF Match 是经过长期现场验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高效射频阻抗网络匹配器，该型射频阻抗网络匹配器能够实现对射频的精准控制。ENI MWD 系列射频阻抗网络匹配器具有响应速度快，匹配精度高的优点，广泛的应用在半导体制程工艺中。该型射频阻抗网络匹配器能够实现对射频信号的精准控制，对射频反射功率进行高精度的侦测，并通过控制步进电机的转动来调节设备内部阻抗值，从而降低功率反射，实现快速匹配。

ENI 射频网络匹配器 MWD-55LD RF Match 参数规格：

设备品牌：ENI                                                                                                                                

设备型号：MWD-55LD

AC 电源输入：1 phase~ /N/PE~ ，100~200V，1A，50/60Hz

RF 射频输入：13.56MHz

功率输入：MAX 5500W

通讯接口：Aanlog I/F，System，Debug，RS-232C I/F

设备散热：风冷散热

设备重量：22.7kg，50lbs