AE 高频射频电源 VHF 2760 60MHz 2700W RF Generator 是经过长期现场验证的具有优良工艺稳定性和控制能力的高性能射频发生器。AE VHF系列射频发生器是甚高频射频电源，能够对射频输出实现精准控制，具有优良的成膜能力，广泛应用在半导体制程薄膜工艺中，该系列射频电源成膜速度快，质量好，能够提高成膜效率，在一定程度上可以提升产线效率和产品良率。该型电源设备整体采用紧凑外形设计，坚固耐用，小巧便捷，机台空间占用小。

AE 高频射频电源 VHF 2760 60MHz 2700W 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：VHF 2760                                                                                                                                    

AC 电源输入：3 phase~ / PE，~208V，20A，50/60Hz

RF 射频输出：60MHz，2700W

通讯接口：Host，User，CEX In/Out，Remote

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：Max进水水压 4.9bars，Max Torque All Fittings 10ft-lbs/15N·m，3/8"NPT