DAIHEN 高频射频电源 NX-FGA-30C 40.68MHz 3200W RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的高新能射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。该系列射频电源具有优秀的成膜能力，广泛应用在半导体制程的薄膜工艺中，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。设备整体采用了紧凑设计，有效节约了机台空间，从而降低客户的使用成本。DAIHEN FGA系列射频电源响应速度快，射频控制精准，在薄膜工艺中具有较快的成膜速度，对降低能源损耗具有一定效果。

DAIHEN 高频射频电源 NX-FGA-30C 40.68MHz 参数规格

设备品牌：DAIHEN

设备型号：NX-FGA-30C

AC电源输入：3 phase~，200V~，27A，50/60Hz

RF射频输出：40.68MHz，3200W

通讯接口：DeviceNet，Analog I/F，Debug

设备散热：水冷散热

设备重量：45kg