DAIHEN 高频射频电源 FGA-65A 40.68MHz 6500W RF Generator 是经过长期验证的高性能射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。该系列射频电源具有优秀的成膜能力，广泛应用在半导体制程的薄膜工艺中，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。设备整体采用了紧凑设计，降低了客户的使用成本。该系列电源设备经过了严格的设计和可靠性测试，实现了高可靠性和耐久性，射频输出控制的精度高，整个输出范围内输出功率稳定。

DAIHEN 高频射频电源 FGA-65A 40.68MHz 参数规格

设备品牌：DAIHEN                                                                                                              

设备型号：FGA-65A

AC电源输入：3 phase~ ，180~242V，40A，50/60Hz

RF射频输出：40.68MHz，6500W

通讯接口：RS-232C，Analog I/F，Pulse，DeviceNet

设备散热：水冷散热

水冷进水Torque：30N·m（Max）

设备重量：93kg