DAIHEN 高频射频电源 FGA-50B 40.68MHz 5000W RF Generator 是经过长期验证的高性能射频电源，射频输出精确高效，可靠性高。该款电源具有优秀的成膜能力，成膜速度快，效率高，广泛应用于半导体制程的薄膜工艺中，固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。设备整体采用了紧凑设计，降低了客户的使用成本。该系列电源设备经过了严格的设计和可靠性测试，实现了高可靠性和耐久性，射频输出控制的精度高，整个输出范围内输出功率稳定。

DAIHEN 高频射频电源 FGA-50B 40.68MHz 参数规格

品牌：DAIHEN                                                                                                             

型号：FGA-50B                                                                                   

AC电源输入：3 phase~ ，200~220V，50/60Hz，40A

RF射频输出：40.68MHz，5000W

通讯接口：Analog I/F，Serial，DMU

设备散热：水冷散热

水冷进水需求：MIN进水流速 8L/min（2.11GPM），MAX进水水压 0.7MPa（101.5PSI），进水水温 10℃~35℃

设备重量：55kg