ADTEC 射频电源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 3000W RF Generator 是经过长期验证的性能优良、可靠性高的射频发生器。电源整体采用了小巧紧凑的外形设计，减少了在机台中的空间占用，大大降低了使用成本。ADTEC TR Series 射频电源在半导体的溅射、CVD、蚀刻等制程中，有着十分广泛的应用。高性能的TR系列射频电源在半导体薄膜工艺的应用中射频输出控制精准，稳定可靠，有较快的成膜速度，可以有效的提高产线的效率，同时降低能源损耗，提高能源效益。

ADTEC 射频电源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 参数规格

设备品牌：ADTEC

设备型号：TR-3000-EI2-MT         

AC电源输入：3 phase~ ，AC200~240V，50/60Hz，5.3kVA

RF射频输出：3000W，13.56MHz

通讯接口：Remote Control，RS-485，EXT-In/Out

设备散热：水冷散热

水冷流速：4.0L/min（1.05gal/min）

水冷水压：0.5MPa（MAX） 

水冷水温：10℃~35℃

Fitting：NPT 1/4（Female）