Advanced Energy/优仪 品牌
经销商厂商性质
扬州市所在地
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
面议AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
面议AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW
面议MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
面议AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
面议KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
面议AE 高频射频电源 CESAR 2730 RF Generator
面议AE Paramount Series 射频发生器是面向业界前沿核心等离子体应用的可重复利用的电源。Paramount Series 射频功率发生器集频率调谐、脉冲和全数字控制于一身。
AE Paramount Series 射频发生器采用全数字控制可动态响应等离子体变化,实现控制优化和同步的高级功能。全系列设备的频率范围从400KHz~60MHz,功率范围从1.5KW~10KW。
AE Paramount Series 射频发生器可提供宽频率和功率范围,支持多种集成场景,并配备标准串行或模拟接口。AE PARAMOUNT 1513 射频电源 Paramount 1513 13.56MHz 1500W RF Generator 关注设备操作的灵活性和应用平台的通用性。全系列平台采用数字架构,可实现精密的电源管理和优化新功能的集成,无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化,实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。
AE PARAMOUNT 1513 射频电源 Paramount 1513 13.56MHz 1500W RF Generator
优点
提高等离子体稳定性和工艺可重复性
精密控制射频功率
快速响应等离子体变化
易于调整满足特定应用需求
特点
全数字控制
频率调谐、脉冲和脉冲同步
实时功率和阻抗测量
电弧管理
相位同步(CEX)