Advanced Energy/优仪 品牌
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扬州市所在地
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
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AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
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AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
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DAIHEN 射频电源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W
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DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW
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DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW
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MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
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AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
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AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
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AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
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KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
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AE 高频射频电源 CESAR 2730 RF Generator
面议AE 射频电源 Paramount MF5002 2MHz 5000W RF Generator 是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源，Paramount MF系列射频功率发生器集频率调谐、脉冲和全数字控制于一身。设备采用的全数字控制可动态响应等离子体变化，频率和功率可定制范围分别从400kHz ~ 60MHz和1.5KW ~ 10KW，能够实现控制的优化和同步。
Paramount 平台采用数字架构，可实现精密的电源管理和优化新功能的集成，无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化，实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。关注操作灵活性，推动您的工艺开发。Paramount® 射频发生器可提供宽频率和功率范围，支持多种集成场景，并配备标准串行或模拟接口。
优点：
提高等离子体稳定性和工艺可重复性
精密控制射频功率
快速响应等离子体变化
易于调整满足特定应用需求
特点：
全数字控制
频率调谐、脉冲和脉冲同步
实时功率和阻抗测量
电弧管理
相位同步（CEX）
AE 射频电源 Paramount MF5002 2MHz 5000W 技术参数：
AC输入：200 ~ 208V，3 phase ~，23A（Max.），50 ~ 60Hz
RF输出：5000W，1.8 ~ 2.17MHz，775Vrms
散热：水冷+风冷
工作环境温度：+5℃ ~ +40℃
通信接口：RS-232、用户端口、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT
