射频电源 Paramount 3013 13.56MHz 3KW
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AE PARAMOUNT 3013射频电源 Paramount 3013 13.56MHz 3KW

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 11:57:19
656
属性:
供货周期:现货;货号:3156330-262;应用领域:化工,电子,电气,综合;主要用途:RF GENERATOR;型号:Paramount?3013;M/N:3156330-262;P/N:660-244566-006;频率:13.56MHz;输出功率:3000W;设备状态:Refurblished;
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产品属性
供货周期
现货
货号
3156330-262
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
型号
Paramount?3013
M/N
3156330-262
P/N
660-244566-006
频率
13.56MHz
输出功率
3000W
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

AE PARAMOUNT 3013 射频电源 Paramount 3013 13.56MHz 3KW RF Generator 关注设备操作的灵活性和应用平台的通用性。AE Paramount Series平台采用数字架构,可实现精密的电源管理和优化新功能的集成,无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化,实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。

详细介绍

AE Paramount Series 射频发生器是面向业界前沿核心等离子体应用的可重复利用的电源。Paramount Series 射频功率发生器集频率调谐、脉冲和全数字控制于一身。

AE Paramount Series 射频发生器采用全数字控制可动态响应等离子体变化,实现控制优化和同步的高级功能。全系列设备的频率范围从400KHz~60MHz,功率范围从1.5KW~10KW

AE Paramount Series 射频发生器可提供宽频率和功率范围,支持多种集成场景,并配备标准串行或模拟接口。AE PARAMOUNT 3013 射频电源 Paramount 3013 13.56MHz 3KW RF Generator 关注设备操作的灵活性和应用平台的通用性。全系列平台采用数字架构,可实现精密的电源管理和优化新功能的集成,无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化,实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。


AE PARAMOUNT 3013 射频电源 Paramount 3013 13.56MHz 3KW RF Generator

优点

  1. 提高等离子体稳定性和工艺可重复性

  2. 精密控制射频功率

  3. 快速响应等离子体变化

  4. 易于调整满足特定应用需求


特点

  1. 全数字控制

  2. 频率调谐、脉冲和脉冲同步

  3. 实时功率和阻抗测量

  4. 电弧管理

  5. 相位同步(CEX)


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