AE Paramount Series 射频发生器是面向业界前沿核心等离子体应用的可重复利用的电源。Paramount Series 射频功率发生器集频率调谐、脉冲和全数字控制于一身。

AE Paramount Series 射频发生器采用全数字控制可动态响应等离子体变化，实现控制优化和同步的高级功能。全系列设备的频率范围从400KHz~60MHz，功率范围从1.5KW~10KW。

AE Paramount Series 射频发生器可提供宽频率和功率范围，支持多种集成场景，并配备标准串行或模拟接口。AE PARAMOUNT 6013 AE 射频电源 Paramount 6013 13.56MHz 6KW RF Generator 关注设备操作的灵活性和应用平台的通用性。全系列平台采用数字架构，可实现精密的电源管理和优化新功能的集成，无需研制周期或硬件更改。该平台通过实时检测等离子体的变化，实现大功率输出和可重复性能。内部保护限值还可确保操作稳定可靠。

AE PARAMOUNT 6013 AE 射频电源 Paramount 6013 13.56MHz 6KW RF Generator

优点

1. 提高等离子体稳定性和工艺可重复性

2. 精密控制射频功率

3. 快速响应等离子体变化

4. 易于调整满足特定应用需求

   
   

特点

1. 全数字控制

2. 频率调谐、脉冲和脉冲同步

3. 实时功率和阻抗测量

4. 电弧管理

5. 相位同步（CEX）