PARAMOUNT PLUS VHF 6060AE 射频电源 Paramount VHF 6060 57-63MHz
Advanced Energy/优仪 品牌
经销商厂商性质
扬州市所在地
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
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面议AE Paramount Plus Series 射频电源采用了面向新兴等离子应用的多级脉冲和脉冲波形控制，为客户提供了可靠的脉冲控制等优秀技术和可定制功能。
AE Paramount Plus Series 射频电源拥有精确的射频和脉冲控制，能够快速响应等离子体变化，设备内置诊断工具。
AE 射频电源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 可实现精密的射频调节、复杂的脉冲操作和*的数据采集。Paramount Plus Series 设计覆盖广泛的射频能量范围——从400KHz~60MHz，输出功率从1.5KW~15KW，可以提供客户需要的可重复性和可靠性。
技术参数
功率等级：3 or 6 KW
频率：27MHz、40MHz、60MHz，频率调谐±5%
可用接口：RS-232、25针模拟、以太网、DeviceNet、Profibus、EtherCAT
AC Input：200/240VAC，400/480VAC
工频：50/60Hz
散热：风冷和水冷
工作环境温度范围：+5°C ~ +40°C，+41°F ~ +104°F
高级功能：多级脉冲，电弧管理，CEX
AE 射频电源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 优点:
精密控制射频
提高等离子提稳定性
加速等离子体转换
缩短工艺时间
提高工艺可重复性和腔室匹配度
特点:
通过精密调节功率输出提升射频稳定性
*的多级脉冲
脉冲同步和监测
实时功率和阻抗测量
*的FastDAQ数据采集系统
